【方正机械】光刻机专题：工业明珠，自主高地

方正证券发布的《光刻机专题（一）：工业明珠，自主高地》报告详细介绍了光刻机的复杂系统工程及其各个子系统的功能和发展历程。报告指出，光刻机市场呈现高度集中态势，尤其是高端EUV光刻机由ASML垄断。国内光刻机市场面临供应链制裁，国产化进程紧迫，已有多家企业和科研机构参与攻关，形成了一定的产业链布局。